仪器简介：
Innova 具有非常强的灵活性，高性价比地满足各项科研的要求。独一无二的闭环扫描线性化系统、卓越的设计及工艺确保测量精度以及接近于开环运行时的噪音水平。可以轻松地在60微米扫描管上实现原子级分辨率。
主要功能：
气相和固体微结构测试，表面形貌，薄膜表面粗糙度检测，Innova SPM 扫描探针显微镜以其高分辨率和出色的品质，广泛应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域。
技术参数：
1. 闭环扫描管：XY>90μm，Z>7.5μm
2. 开环扫描管：XY>5μm, Z >1.5μm
3. 样品尺寸： X-50 mm x Y-50mm x Z-18 mm
4. 电动Z 轴载物台：Z 轴行程： 18mm
5. 光学系统： 摄像头： 轴线彩色CCD，带电动变焦
6. 视场： 1.24mm x0.25mm (电动变焦，10x 物镜)
7. 分辨率： <2μm，标准10x 物镜(50x 物镜<0.75μm)
8. 电子电路：20 位DAC 控制器，100kHz、±10v ADCs，数字反馈器件