主要功能：
用于光刻时涂胶、前烘和后烘
技术指标：
1、测试分辨率：0.01°
2、测试精度： 0.1°
3、光学系统：
（1）成像：标准CCD摄像机和连续变倍显微镜镜头；
（2）光源：可调亮度单色冷光LED背光光源，图像中液滴边缘分辨更清晰；
（3）指标：最快拍摄25帧/秒，显微镜放大率0.7-10倍连续变倍，成像分辨率55piexl/mm~315piexl/mm，水平分辨率750线。
4、测试方式：悬滴法、座滴法（静滴法）、转落法、插入法
5、接触角分析方法：θ/2法、自动分析法
6、拍摄图像方法：单张拍摄、连续间隔拍摄（慢存）、连续拍摄（快存）
7、接触角测试范围：0＜θ＜180° 图象分辨率最高： 768×576×24位。
主要应用领域：
半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域