测量特点：
非破环性检测
样品准直简单方便
测量速度快
可变入射角范围宽
绝对测量
软件分析功能强
技术指标：
光源：He-Ne激光器
光斑直径：1-2mm
入射角范围：20°到90°,5°/步
精度：0.002°~ 0.02°
膜厚精度：0.01mm，对100nmSiO2on Si
折射率精度：0.0005，对100nmSiO2on Si
激光光斑：直径1mm
激光波长：632.8 nm